Un capilaritrón es un dispositivo para crear rayos de iones y átomos.
Mecanismo



El capilaritrón, cuyo concepto básico se publicó en 1981, consta de un fino capilar metálico por el que fluye un gas que actúa como ánodo y un cátodo de extracción concéntrico con una abertura de salida. El flujo de gas a través del capilar se extrae cuando un alto voltaje (generalmente unos pocos kilovoltios ) es ionizado por electrones libres y electrones secundarios , que se aceleran hacia el ánodo (véase también ionización por impacto ). Los iones con carga positiva se aceleran en el campo eléctrico y forman un haz de iones detrás de la abertura del cátodo de extracción. [ 1 ] Debido a los procesos de recombinación e intercambio de carga en el plasma , el haz también está compuesto parcialmente por átomos sin carga . [ 2 ]
El capilar suele estar compuesto de materiales resistentes, como el tungsteno . Un desarrollo posterior, a partir de 1992, es el capilaritrón de cuarzo. En este caso, el capilar está compuesto de cuarzo , un material aislante eléctrico , en el que se inserta un hilo metálico para generar el potencial del ánodo. [ 3 ] La ventaja reside en la producción más sencilla, flexible y económica de capilares de cuarzo con un diámetro interior predeterminado , que, a diferencia de los capilares metálicos, no necesitan ser perforados , sino que pueden ser grabados electroquímicamente o fabricados por un soplador de vidrio . [ 3 ]
Por regla general, se utiliza gas inerte como gas de operación, ya que este solo experimenta una reacción química mínima con los demás materiales involucrados. Sin embargo, un capilaritrón también funciona con hidrógeno , nitrógeno o incluso aire . [ 4 ]
Con haces de iones de capilaritrones, se alcanzan densidades de corriente de hasta 10 kiloamperios por milímetro cuadrado y corrientes de haz de varios miliamperios. [ 5 ]
Mediante el enfoque con óptica iónica , se pueden generar haces con alta densidad de potencia en alto vacío , que también se pueden utilizar para procesar superficies de forma selectiva. [ 6 ]
Aplicaciones
Los capilaritrones están disponibles comercialmente. [ 7 ]
Los haces de iones y átomos pueden utilizarse para pulverizar superficies en grandes áreas, y el material pulverizado puede emplearse para la deposición de películas delgadas . [ 8 ] [ 6 ] Los haces atómicos también pueden utilizarse para procesar superficies aislantes. Al utilizar haces de iones, dichas superficies se cargarían electrostáticamente , lo que ralentiza los iones antes de que impacten contra la superficie. [ 9 ]
Además, el capilaritrón como fuente de átomos puede utilizarse para espectrometría de masas . [ 10 ] [ 11 ]
Los capilaritrones también son adecuados para aplicaciones de aceleradores . [ 12 ]
Lecturas adicionales
- John F. Mahoney, Julius Perel, A. Theodore Forrester: Capilaritrón: una nueva y versátil fuente de iones. En: Appl. Phys. Lett. 38, 1981, págs. 320–322 ( doi : 10.1063/1.92355 ).
- Julius Perel, John F. Mahoney, Bernard Kalensher: Investigación de la fuente de iones Capilaritrón para propulsión eléctrica , AIAA , 15.ª Conferencia Internacional de Propulsión Eléctrica de 1981, Las Vegas, EE. UU., publicado en línea el 17 de agosto de 2012 ( doi : 10.2514/6.1981-747 ).
- Julius Perel: Fuente de iones para carga útil de cohetes , 6.º informe trimestral de situación, Laboratorio de Geofísica de la Fuerza Aérea, Pasadena, EE. UU., agosto de 1983.
- Roland Hanke, Helmut Knapp, Detlef Rübesame, Stephan Wege, Heinz Niedrig: Una fuente de iones de capilaritrón como sistema de triodo acoplado con una lente einzel. , En: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research , Sección B: Interacciones de haces con materiales y átomos , Volúmenes 59–60, Parte 1, 1 de julio de 1991, Páginas 135-138 ( doi : 10.1016/0168-583X(91)95193-H ).
- Markus Bautsch, Patrik Varadinek, Stephan Wege, Heinz Niedrig: una fuente de capilaritrón de cuarzo compacta y económica. En: J. Vac. Ciencia. Tecnología. A. 12, núm. 2, 1994, págs. 591–593 ( doi : 10.1116/1.578839 ).
Referencias
- ↑ Lyon, Philip A. (1985). Espectrometría de masas por desorción: ¿Son SIMS y FAB lo mismo? . Sociedad Química Estadounidense. págs. 127-135. ISBN 978-0-8412-0942-8.
- ↑ Cherepin, VT (28 de abril de 2020). Espectroscopia de masas de iones secundarios de superficies sólidas . CRC Press. ISBN 978-1-4665-6373-5.
- 1 2 DE 4242616 , Markus Bautsch, Patrick Varadinek, Stephan Wege, "Verfahren zur Herstellung von Kapillaren sowie deren Verwendung für eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Strahls beschleunigter Ionen und/oder Atome", publicado el 13 de junio de 1996, publicado el 14 de diciembre de 1992
- ↑ Bautsch, Markus (1993). "2.3 Ionenemission aus Kapillaren". Rastertunnelmikroskopische Untersuchungen an mit Argon zerstäubten Metallen (en alemán). Berlín: Verlag Köster (publicado el 1 de diciembre de 1993). págs. 14 a 18. ISBN 3-929937-42-5.
- ↑ Bautsch, Markus (1993). "4 Aufbau und Eigenschaften des Quarzkapillaritrons". Rastertunnelmikroskopische Untersuchungen an mit Argon zerstäubten Metallen (en alemán). Berlín: Verlag Köster (publicado el 1 de diciembre de 1993). págs. 59 a 67. ISBN 3-929937-42-5.
- 1 2 Chao, Liang-Chiun; Lin, Syuan-Jhuh; Chang, Wan-Chun (2010-05-01). "Crecimiento, caracterización y efecto del sesgo del sustrato en ZnO preparado mediante deposición por pulverización catódica con haz de iones de capilaritrón reactivo" . Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 268 ( 10): 1581– 1584. Bibcode : 2010NIMPB.268.1581C . doi : 10.1016/j.nimb.2010.03.012 . ISSN 0168-583X .
- ↑ Heine, Curt Einar (1990). Desarrollo y optimización de matrices para espectrometría de masas por bombardeo de átomos rápidos y bombardeo de átomos rápidos asistido térmicamente . Universidad Estatal de Michigan. Departamento de Química. págs. 23-24.
- ↑ "Sistema de pulverización catódica por haz de iones capilar y método de producción de películas delgadas - Patente US-2009236217-A1 - PubChem" . pubchem.ncbi.nlm.nih.gov . Consultado el 22 de febrero de 2024 .
- ↑ Rose, ME (31 de octubre de 2007). Espectrometría de masas: Volumen 8. Royal Society of Chemistry. ISBN 978-1-84755-665-3.
- ↑ Mahoney, John F.; Goebel, Dan M.; Perel, Julius; Forrester, A. Theodore (1983-02-01). "Una fuente única de átomos rápidos para aplicaciones de espectrometría de masas" . Biological Mass Spectrometry . 10 (2): 61– 64. doi : 10.1002/bms.1200100203 . ISSN 0306-042X .
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- ↑ Bhattacharyya, R. (2009-07-04). "Fuentes de iones autóctonas para el procesamiento de materiales" . Defence Science Journal . 59 (4): 377– 394. doi : 10.1021/bk-1985-0291.ix002 .
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