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El arco en cascada es una descarga de arco eléctrico térmico estabilizado en la pared que produce un plasma de alta densidad y baja temperatura .
General
La fuente de arco en cascada, desarrollada en la Universidad Tecnológica de Eindhoven , [1] [2] se muestra en la figura siguiente. En comparación con las fuentes de plasma en otros generadores de plasma lineal, esta fuente puede producir plasmas de argón e hidrógeno de alta densidad (respectivamente 10 21 – 10 24 y 10 19 – 10 22 m −3 ) a una temperatura de electrones relativamente baja (~1 eV). Debido a la alta frecuencia de colisión de las partículas en la fuente, el plasma está en equilibrio térmico y es razonablemente homogéneo.
El arco en cascada consta de una entrada de gas, tres cátodos de tungsteno , placas en cascada, una boquilla y un ánodo. A través de la entrada de gas, el gas de trabajo (argón o hidrógeno) puede fluir hacia la cámara del cátodo. La fuente normalmente funciona a 0,5–3,0 slm (2,2 × 10 20 – 1,3 × 10 20 partículas por segundo) y una corriente de descarga de 100–300 A. Las placas en cascada entre el cátodo y el ánodo están aisladas eléctricamente entre sí por placas de nitruro de boro de 1 mm de espesor. El voltaje de estas placas es el potencial flotante. Tanto la boquilla como el ánodo están conectados a tierra.
Véase también
Enlaces externos
- Una unidad de descarga luminiscente
- FUENTES DE PLASMA DE SUPERFICIE H DE ALTO BRILLO
- Producción de H en descargas de hidrógeno puro de fuentes de plasma superficial
Referencias
- ^ [1] GMW Kroesen, DC Schram y JCM de Haas, Química del plasma y procesamiento del plasma, 10(4):531–551, 1990.
- ^ [2] MCM van de Sanden, GJH Brussaard, WMM Kessels, A. de Graaf, MFAM van Hest, KGY Letourneur y DC Schram