La sublimación en espacio cerrado es un método para producir películas delgadas, especialmente células fotovoltaicas de telururo de cadmio , aunque también se utiliza para otros materiales como el triselenuro de antimonio . [ 1 ]

Se trata de un tipo de deposición física de vapor en la que el sustrato a recubrir y el material fuente se mantienen cerca uno del otro. Ambos se colocan en una cámara de vacío , que se vacía. A continuación, se calientan la fuente y el sustrato. La fuente se calienta hasta una fracción de su temperatura de fusión, y el sustrato a una temperatura inferior, por ejemplo, 640 °C y 600 °C, respectivamente. [ 2 ] Esto provoca la sublimación de la fuente, permitiendo que los vapores se desplacen una corta distancia hasta el sustrato, donde se condensan, produciendo una película delgada . Esta difusión de corto recorrido es similar en principio a la destilación de corto recorrido . En comparación con otras técnicas, es un proceso relativamente insensible y tarda tan solo 15 minutos en completar un ciclo. [ 3 ] Esto la convierte en una técnica muy viable para la fabricación a gran escala. [ 4 ]
Referencias
- ↑ Birkett, Max; Linhart, Wojciech; Stoner, Jessica; Phillips, Laurie (24 de mayo de 2018). "Dependencia de la temperatura de la banda prohibida de Sb2Se3 cultivado por sublimación en espacio cerrado mediante fotorreflectancia" . APL Materials . 6 (8): 084901. Bibcode : 2018APLM....6h4901B . doi : 10.1063/1.5027157 .
- ↑ Guogen Liu; Zimeng Cheng; Georgiou, George E.; Chin, Ken K. (junio de 2015). "El modelo de crecimiento de películas delgadas de CdTe mediante sublimación a corta distancia" . 2015 IEEE 42nd Photovoltaic Specialist Conference (PVSC) . IEEE. págs. 1–5 . doi : 10.1109/pvsc.2015.7355909 . ISBN 978-1-4799-7944-8. S2CID 31360926 .
- ↑ Bothwell, Alexandra M.; Drayton, Jennifer A.; Jundt, Pascal M.; Sites, James R. (2020-03-06). " Celdas solares ultradelgadas de CdSeTe/CdTe depositadas por sublimación en espacio cerrado para una mayor densidad de corriente de cortocircuito y fotoluminiscencia" . Journal of Visualized Experiments (157) e60937. doi : 10.3791/60937 . ISSN 1940-087X . OSTI 1721473. PMID 32202534. S2CID 214617834 .
- ↑ Potamialis, C.; Lisco, F. "Fabricación de películas delgadas de CdTe mediante sublimación en espacio cerrado" (PDF) . Centro de Formación Doctoral en Fotovoltaica Nueva y Sostenible . Centro de Tecnología de Sistemas de Energía Renovable (CREST), Escuela Wolfson, Universidad de Loughborough . Consultado el 26 de abril de 2019 .
- deposición de película delgada
- Fabricación de dispositivos semiconductores