

Los actuadores de peine son actuadores microelectromecánicos , a menudo utilizados como actuadores lineales , que emplean fuerzas electrostáticas entre dos peines conductores de electricidad. Estos actuadores suelen operar a escala micrométrica o nanométrica y generalmente se fabrican mediante micromecanizado volumétrico o superficial de un sustrato de oblea de silicio .
Las fuerzas electrostáticas de atracción se generan al aplicar un voltaje entre los peines estáticos y móviles, provocando que se acerquen. La fuerza generada por el actuador es proporcional al cambio de capacitancia entre ambos peines, aumentando con el voltaje de excitación, el número de dientes y la distancia entre ellos. Los peines están dispuestos de forma que nunca se toquen (ya que, de lo contrario, no habría diferencia de voltaje). Generalmente, los dientes se disponen de manera que puedan deslizarse uno sobre otro hasta que cada diente ocupe la ranura del peine opuesto.
Se pueden añadir resortes de recuperación , palancas y cigüeñales si se desea convertir el funcionamiento lineal del motor en rotación u otros movimientos.
La fuerza se puede obtener partiendo primero de la energía almacenada en un condensador y luego derivando en la dirección de la fuerza. La energía en un condensador viene dada por:
Utilizando la capacitancia de un condensador de placas paralelas , la fuerza es:
= potencial eléctrico aplicado, = permitividad relativa del dieléctrico, = permitividad del espacio libre (8,85 pF/m), = número total de dedos a ambos lados de los electrodos, = espesor en la dirección perpendicular al plano de los electrodos, = espacio entre electrodos.
Estructura de los mecanismos de peine
• filas de dientes entrelazados • mitad fija • mitad parte de un conjunto móvil • aislamiento eléctrico • atracción/repulsión electrostática: voltaje de accionamiento CMOS • muchos dientes aumentan la fuerza: típicamente 10 μm de largo y fuerte
Problemas de escalabilidad
Los actuadores de peine no pueden funcionar a grandes distancias entre electrodos (o distancias de actuación), ya que el desarrollo de fuerzas efectivas a grandes distancias requeriría altos voltajes, lo que limita su funcionamiento debido a la ruptura dieléctrica . Más importante aún, las limitaciones impuestas por la distancia entre electrodos limitan la distancia de actuación.
Véase también
Referencias
- ↑ Tsoukalas, Konstantinos; Vosoughi Lahijani, Babak; Stobbe, Søren (2020-06-05). "Impacto de las leyes de escala de transducción en los sistemas nanoelectromecánicos" . Physical Review Letters . 124 (22) 223902. arXiv : 1912.09907 . Bibcode : 2020PhRvL.124v3902T . doi : 10.1103/PhysRevLett.124.223902 . PMID 32567909. S2CID 209439614 .
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