Activación electrostática-neumática

La activación electrostática-neumática es un método de actuación para dar forma a membranas delgadas en sistemas microelectromecánicos y microoptoelectromecánicos . ^{[ 1 ] [ 2 ]} Este método ofrece la ventaja de operar a alta velocidad y con bajo consumo de energía. ^{[ 3 ]} También puede causar grandes deflexiones en membranas delgadas. Los dispositivos MEMS electrostáticos-neumáticos generalmente constan de dos membranas con una cavidad sellada entre ellas. Un actuador que llama a una membrana se deforma dentro de la cavidad por presión electrostática para comprimir el aire y aumentar la presión del aire. La presión elevada empuja la otra membrana y causa una forma de cúpula. Con la actuación electrostática directa sobre la membrana, se logra una forma cóncava.

Este método se utiliza en espejos deformables MEMS ^{[ 4 ] [ 5 ] [ 6 ] [ 7 ] [ 8 ]} para crear espejos convexos y cóncavos. ^{[ 9 ]} La actuación electrostática-neumática puede duplicar el desplazamiento máximo de una membrana delgada en comparación con una membrana accionada únicamente electrostáticamente. ^{[ 10 ]}

Además, es posible obtener una ventaja mecánica ^{[ 11 ]} mediante el uso de la actuación electrostática-neumática. Dado que la cavidad está llena de aire, la amplificación mecánica es menor que en la maquinaria hidráulica con un fluido incompresible.

• Control electroneumático