Recocido en horno

El recocido en horno es un proceso utilizado en la fabricación de dispositivos semiconductores que consiste en calentar múltiples obleas semiconductoras para modificar sus propiedades eléctricas. Los tratamientos térmicos están diseñados para diferentes efectos. Las obleas se pueden calentar para activar dopantes , cambiar las interfaces entre películas o entre películas y sustratos de oblea, densificar películas depositadas, alterar estados de películas crecidas, reparar daños por implantación iónica , mover dopantes o impulsarlos de una película a otra o de una película al sustrato de la oblea. Durante el proceso de implantación iónica, el sustrato cristalino se daña debido al bombardeo con iones de alta energía. El daño causado se puede reparar sometiendo el cristal a alta temperatura. Este proceso se denomina recocido. Los recocidos en horno pueden integrarse en otros pasos de procesamiento en horno, como las oxidaciones, o pueden realizarse de forma independiente.

El recocido en horno se realiza con equipos especialmente diseñados para calentar obleas semiconductoras . Estos hornos pueden procesar muchas obleas a la vez, pero cada proceso puede durar entre varias horas y un día. Cada vez más, el recocido en horno está siendo reemplazado por el recocido térmico rápido (RTA) o el procesamiento térmico rápido (RTP). Esto se debe a los ciclos térmicos relativamente largos de los hornos, que provocan que los dopantes que se activan, especialmente el boro, se difundan más de lo previsto. El RTP o el RTA solucionan este problema al utilizar ciclos térmicos para cada oblea del orden de minutos, en lugar de las horas que requiere el recocido en horno.

Equipo

• Consolidated Engineering Company Archivado el 05/11/2013 en Wayback Machine Los hornos de recocido cubren una amplia gama de aplicaciones de acero y aluminio, incluyendo el templado, la normalización y el envejecimiento, y es posible la carga, descarga y enfriamiento natural o forzado automatizados similares con sistemas de solera de rodillos, basculantes o por lotes.
• Hornos de recocido de Koyo Thermo Systems para aplicaciones de semiconductores, energía solar, pantallas y electrónica.
• Tokyo Electron Limited TELFORMULA y TELINDY PLUS