Hispanopedia WikiHARMST es un acrónimo de tecnología de microestructura de alta relación de aspecto , que describe tecnologías de fabricación, utilizadas para crear microestructuras de alta relación de aspecto [1] con alturas entre decenas de micrómetros hasta un centímetro y relaciones de aspecto superiores a 10:1. Los ejemplos incluyen el proceso de fabricación LIGA , el grabado avanzado de silicio y el grabado profundo de iones reactivos .
Véase también
Referencias
- ^ Gerlach, Gerald (2008). Introducción a la tecnología de microsistemas: una guía para estudiantes. Internet Archive. Chichester, Inglaterra; Hoboken, NJ: J. Wiley & Sons. p. 138. ISBN 978-0-470-05861-9.