Articulo de referencia

silicato de hafnio(IV)

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El silicato de hafnio es la sal de hafnio (IV) del ácido silícico con la fórmula química HfSiO 4 .

Las películas delgadas de silicato de hafnio y silicato de circonio cultivadas mediante deposición de capas atómicas , deposición química de vapor o MOCVD , pueden utilizarse como dieléctrico de alta κ en sustitución del dióxido de silicio en dispositivos semiconductores modernos. [ 2 ] La adición de silicio al óxido de hafnio aumenta la banda prohibida , a la vez que disminuye la constante dieléctrica . Además, aumenta la temperatura de cristalización de las películas amorfas y aumenta aún más la estabilidad térmica del material con Si a altas temperaturas. [ 3 ] En ocasiones, se añade nitrógeno al silicato de hafnio para mejorar la estabilidad térmica y las propiedades eléctricas de los dispositivos.

fenómeno natural

El hafnón es la forma natural del ortosilicato de hafnio. Su nombre sugiere que este mineral es el análogo de Hf del mucho más común circón . El hafnón es el único mineral de hafnio confirmado hasta la fecha (es decir, con predominio de hafnio). El hafnón y el circón forman una solución sólida. El hafnón es un mineral exclusivamente pegmatítico y se encuentra en pegmatitas mayormente fraccionadas (de génesis/historia compleja). [ 4 ]

Referencias

  1. 1 2 Haynes, William M., ed. (2011). CRC Handbook of Chemistry and Physics (92.ª  ed.). Boca Raton, Florida: CRC Press . págs.  4-66. ISBN 1-4398-5511-0.
  2. Mitrovic, IZ; Buiu, O.; Hall, S.; Bungey, C.; Wagner, T.; Davey, W.; Lu, Y. (abril de 2007). "Propiedades eléctricas y estructurales de películas delgadas de silicato de hafnio". Microelectronics Reliability . 47 ( 4–5 ): 645–648 . doi : 10.1016/j.microrel.2007.01.065 .
  3. JH Choi; et al. (2011). "Desarrollo de materiales de alta κ basados ​​en hafnio: una revisión". Materials Science and Engineering: R . 72 (6): 97– 136. doi : 10.1016/j.mser.2010.12.001 . 
  4. "Hafnon" .