fluoruro de oxalilo

El fluoruro de oxalilo es un compuesto organofluorado con la fórmula (COF) _₂ . Es un derivado fluorado del ácido oxálico . Este líquido incoloro se prepara mediante la reacción de fluoruro de sodio con cloruro de oxalilo . ^{[ 1 ]}

Se está investigando el fluoruro de oxalilo para su uso en el grabado como sustituto de compuestos que tienen el inconveniente de un alto potencial de calentamiento global . ^{[ 2 ]}^{[ 3 ]}

Véase también

Referencias

↑ CW Tullock, DD Coffman (1960). "Síntesis de fluoruros por metátesis con fluoruro de sodio". J. Org. Chem . 25 (11): 2016–2019. doi : 10.1021/jo01081a050 .
↑ Método de grabado y limpieza utilizando compuestos carbonílicos fluorados , Patente estadounidense 6635185.
↑ Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian y Konstantin Novoselovc (2001). "Evaluación del fluoruro de oxalilo para una aplicación de grabado dieléctrico en una herramienta de grabado por plasma acoplado inductivamente". J. Electrochem. Soc . 148 (3): G141– G149. Bibcode : 2001JElS..148G.141K . doi : 10.1149/1.1348263 .

[1] CW Tullock, DD Coffman (1960). "Síntesis de fluoruros por metátesis con fluoruro de sodio". J. Org. Chem . 25 (11): 2016–2019. doi : 10.1021/jo01081a050 .

[2] Método de grabado y limpieza utilizando compuestos carbonílicos fluorados , Patente estadounidense 6635185.

[3] Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian y Konstantin Novoselovc (2001). "Evaluación del fluoruro de oxalilo para una aplicación de grabado dieléctrico en una herramienta de grabado por plasma acoplado inductivamente". J. Electrochem. Soc . 148 (3): G141– G149. Bibcode : 2001JElS..148G.141K . doi : 10.1149/1.1348263 .

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