Articulo de referencia

Transductor ultrasónico micromecanizado piezoeléctrico

Los transductores ultrasónicos micromecanizados piezoeléctricos ( PMUT ) son transductores ultrasónicos piezoeléctricos basados ​​en MEMS . A diferencia de los transductores pie...

Los transductores ultrasónicos micromecanizados piezoeléctricos ( PMUT ) son transductores ultrasónicos piezoeléctricos basados ​​en MEMS . A diferencia de los transductores piezoeléctricos convencionales, que utilizan el movimiento en modo de espesor de una placa de cerámica piezoeléctrica como PZT o PMN-PT monocristalino , los PMUT se basan en el movimiento de flexión de una membrana delgada acoplada a una película piezoeléctrica delgada, como PVDF . [ 1 ] [ 2 ] [ 3 ] [ 4 ] [ 5 ]

En comparación con los transductores ultrasónicos piezoeléctricos convencionales, los PMUT ofrecen ventajas como un mayor ancho de banda , geometrías flexibles, una adaptación natural de la impedancia acústica con el agua, menores requisitos de voltaje, la posibilidad de mezclar diferentes frecuencias resonantes y la posibilidad de integración con circuitos electrónicos de soporte, especialmente para aplicaciones miniaturizadas de alta frecuencia.

Referencias

  1. Trolier-McKinstry, Susan ; P. Muralt (enero de 2004). "Película delgada piezoeléctrica para MEMS" . Journal of Electroceramics . 12 ( 1–2 ): 7. doi : 10.1023/B:JECR.0000033998.72845.51 . S2CID 108579867 . 
  2. Hajati, Arman; et al. (2012). "Sistema microelectromecánico tridimensional transductor de ultrasonido piezoeléctrico" . Applied Physics Letters . 101 (25): 253101. Bibcode : 2012ApPhL.101y3101H . doi : 10.1063/1.4772469 . 
  3. Muralt, Paul (diciembre de 2005). " Transductores ultrasónicos micromecanizados piezoeléctricos basados ​​en películas delgadas de PZT" . IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control . 52 (12): 2276–2288 . doi : 10.1109/TUFFC.2005.1563270 . PMID 16463493. S2CID 24177361 .  
  4. Qiu, Yongqiang; et al. (2015). "Matrices de transductores ultrasónicos micromecanizados piezoeléctricos (PMUT) para detección, actuación e imágenes integradas" . Sensors . 15 ( 4): 8020– 41. Bibcode : 2015Senso..15.8020Q . doi : 10.3390/s150408020 . PMC 4431219. PMID 25855038 .   
  5. Brown, Lewis (noviembre de 2000). "Consideraciones de diseño para un transductor de ultrasonido de polímero piezoeléctrico". IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control . 47 (6): 1377– 1396. doi : 10.1109/58.883527 . PMID 18238684. S2CID 43756472 .  

Véase también

  • CMUT , una tecnología similar basada en capacitancia