Policida

El policida ^{[ 1 ]} es un siliciuro que se forma sobre polisilicio . Se utiliza ampliamente en DRAMs . En un proceso de transistor MOSFET de policida, el siliciuro se forma únicamente sobre la película de polisilicio, ya que su formación ocurre antes de cualquier grabado del polisilicio. Los procesos de policida contrastan con los procesos de saliciuro , en los que el siliciuro se forma después del grabado del polisilicio. Por lo tanto, con un proceso de saliciuro, el siliciuro se forma tanto sobre la compuerta de polisilicio como sobre las regiones terminales monocristalinas expuestas del transistor de forma autoalineada .