Roger T. Howe

Roger Thomas Howe (nacido en 1957 en Sacramento, California ) es profesor William E. Ayer de Ingeniería Eléctrica en la  Universidad de Stanford . Obtuvo una licenciatura en física en el Harvey Mudd College ( Claremont, California ) y una maestría y un doctorado en ingeniería eléctrica en la  Universidad de California, Berkeley,  en 1981 y 1984, respectivamente. Fue miembro del profesorado de la Universidad Carnegie Mellon de 1984 a 1985, del  Instituto Tecnológico de Massachusetts (MIT)  de 1985 a 1987, y de la Universidad de California, Berkeley, entre 1987 y 2005, donde fue profesor distinguido Robert S. Pepper. Es miembro del profesorado de la Facultad de Ingeniería de Stanford desde 2005.

Sus intereses de investigación se centran en el diseño y la fabricación de sistemas micro y nanoelectromecánicos (M/NEMS). Junto con su director de tesis doctoral, Richard S. Muller, de Berkeley, desarrolló la tecnología de micromecanizado de superficies de polisilicio. ^{[ 1 ] [ 2 ]}  Este proceso abrió las posibilidades de elementos micromecánicos como voladizos, resonadores y engranajes. Actualmente se utiliza para la producción de miles de millones de sensores inerciales ^{[ 3 ] [ 4 ]} , ^{[ 5 ]} micrófonos , ^{[ 6 ]} y dispositivos de temporización. ^{[ 7 ]} La tecnología de micromecanizado de polisilicio sigue desarrollándose para lograr sensores de mayor rendimiento. ^{[ 8 ]} Junto con su estudiante de doctorado, William C. Tang , coinventó el accionamiento electrostático de peine, ^{[ 9 ] [ 10 ]} que es un componente clave para microsensores y actuadores. Junto con su antiguo colega Tsu-Jae King Liu y sus estudiantes, se desarrolló una tecnología de micromecanizado de silicio-germanio policristalino a baja temperatura que podía fabricarse después de la electrónica CMOS estándar. ^{[ 11 ]} Desde que se unió a Stanford, ha contribuido a dispositivos de conversión de energía termoiónica ^{[ 12 ]} y sensores biomoleculares electrónicos de amplio espectro. ^{[ 13 ]}

Fue elegido miembro del IEEE en 1996 por sus "contribuciones fundamentales a las tecnologías de microfabricación, dispositivos y sistemas microelectromecánicos". Recibió, junto con Richard S. Muller, el Premio IEEE Cledo Brunetti de 1998. En 2005, fue elegido miembro de la Academia Nacional de Ingeniería de EE. UU . por sus contribuciones al desarrollo de sistemas microelectromecánicos en procesos, dispositivos y sistemas. En 2015, él y Yu-Chong Tai recibieron conjuntamente el Premio Robert Bosch de Sistemas Micro y Nanoelectromecánicos de la Sociedad de Dispositivos Electrónicos del IEEE . Ese mismo año, también recibió el Premio de Educación de la Sociedad de Dispositivos Electrónicos del IEEE por sus contribuciones a la mentoría y la educación en los campos de los sistemas microelectromecánicos y la nanotecnología. Fue coautor del libro de texto de electrónica Microelectronics: an Integrated Approach con Charles G. Sodini del MIT. ^{[ 14 ]}

De 2011 a 2015, fue director de la Red Nacional de Infraestructura de Nanotecnología de EE. UU. (NNIN) y de 2009 a 2017, se desempeñó como director académico de la Instalación de Nanofabricación de Stanford (SNF) . ^{[ 15 ]}

Cofundó dos empresas basadas en la investigación de su grupo. Silicon Clocks, Inc. se fundó en 2004 y fue adquirida por Silicon Labs, Inc. en 2010. ProbiusDx, Inc. se fundó en diciembre de 2015 para comercializar un sensor biomolecular electrónico de amplio espectro. ^{[ 16 ]}

• Roger Howe, Universidad de Stanford
• Google Académico, Roger T. Howe