El tribromosilano es el compuesto químico con la fórmula HBr 3 Si. [ 1 ] A altas temperaturas, se descompone para producir silicio y es una alternativa al triclorosilano purificado de silicio ultrapuro en la industria de semiconductores .
El proceso Schumacher de deposición de silicio utiliza gas tribromosilano para producir polisilicio , pero tiene varias ventajas en cuanto a costos y seguridad sobre el proceso Siemens para fabricar polisilicio. [ 2 ]
Puede prepararse calentando silicio cristalino con bromuro de hidrógeno gaseoso a alta temperatura. [ 3 ] Se inflama espontáneamente al exponerse al aire. [ 4 ]
Referencias
- ↑ PubChem. "Tribromosilano" . pubchem.ncbi.nlm.nih.gov . Consultado el 22 de diciembre de 2022 .
- ↑ El proceso Schumacher
- ↑ Schumb WC, Young RC (abril de 1930). "Un estudio de la reacción del bromuro de hidrógeno con silicio". Journal of the American Chemical Society . 52 (4): 1464– 1469. Bibcode : 1930JAChS..52.1464S . doi : 10.1021/ja01367a025 .
- ↑ Schumb WC (diciembre de 1942). "Los haluros y oxihaluros del silicio". Chemical Reviews . 31 (3): 587– 595. doi : 10.1021/cr60100a004 .
- fragmentos de compuestos inorgánicos
- Silanos
- bromuros
- halogenuros no metálicos