
- Un agente de grabado isotrópico que crea un socavado.
- Un agente de grabado anisotrópico no deja socavados.
Las socavaduras producidas por el grabado (microfabricación) suelen ser un efecto secundario no deseado, aunque a veces se utilizan como una característica, como en la técnica de Niemeyer-Dolan . [ 1 ] Las socavaduras producidas por el grabado pueden deberse a dos causas comunes. La primera es el sobregrabado, lo que significa que el agente de grabado se aplicó durante demasiado tiempo. La segunda se debe a un agente de grabado isotrópico , lo que significa que el agente de grabado graba por igual en todas las direcciones. Para superar este problema, se utiliza un agente de grabado anisotrópico . [ 2 ]
Referencias
- ↑ Henning, Torsten (1999-01-27). "Efectos de carga en nanoestructuras de niobio". pp. 56, 60. arXiv : cond-mat/9901308 .
- ↑ Degarmo, Black y Kohser 2003 , pág. 897 .
Bibliografía
- Degarmo, E. Paul; Black, J. T.; Kohser, Ronald A. (2003), Materiales y procesos en la fabricación (9.ª ed.), Wiley, ISBN 0-471-65653-4.
- Grabado (microfabricación)
- Esbozos tecnológicos